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J-GLOBAL ID：200902224088016430   Reference number：08A0066672

Reduction of Memory Effect in Shave-off Depth Profiling

Shave-off深さ方向分析法におけるメモリー効果の低減

Author (9)： NOJIMA MASASHI (東京理大 総合研究機構) ,  NOJIMA MASASHI (東大 生産技研) ,  FUJII MAKIKO (東京理大 理工) ,  FUJII MAKIKO (東大 生産技研) ,  ISHIZAKI YASUHIRO (東京理大 理工) ,  ISHIZAKI YASUHIRO (東大 生産技研) ,  OWARI MASANORI (東大 生産技研) ,  OWARI MASANORI (東大 環境安全研究セ) ,  NIHEI YOSHIMASA (東京理大 総合研究機構)
Material： 分析化学
Volume： 57  Issue： 1  Page： 67-69  Publication year： Jan. 05, 2008 
JST Material Number： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *secondary ion mass spectrometry ,...
Semi thesaurus term： memory effect ,...

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JST classification (1)： Mass spectrometry  (CC03013N)

Reference (5)：

• 1) H. N. Migeon, C. Le Pipec, J. J. Le Goux : SIMS V, 44, 155 (1986).
• 2) 野島 雅,神田雄介,戸井雅之,冨安文武乃進,坂本哲夫,尾張真則,二瓶好正 : 分析化学 (Bunseki Kagaku), 52, 179 (2003).
• 3) M. Nojima, A. Maekawa, T. Yamamoto, B. Tomiyasu, T. Sakamoto, M. Owari, Y. Nihei : Appl. Sur. Sci., 252, 7293 (2006).
• 4) M. Nojima, M. Toi, A. Maekawa, B. Tomiyasu, T. Sakamoto, M. Owari, Y. Nihei : Appl. Surf. Sci., 231-232, 930 (2004).
• 5) M. Nojima, T. Yamamoto, Y. Ishizaki, M. Owari, Y. Nihei : Nucl. Inst. Meth. Phy. Res. B, 258, 250 (2007).

Terms in the title (3)： 深さ方向 ,  分析法 ,  メモリー効果