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J-GLOBAL ID：200902227645913376   Reference number：03A0171805

Development and estimation of a nano-beam secondary ion mass spectrometry apparatus.

ナノビーム二次イオン質量分析装置の試作と評価

Author (7)： NOJIMA MASASHI (東大 生産技研) ,  KANDA YUSUKE (東大 生産技研) ,  TOI MASAYUKI (東大 生産技研) ,  TOMIYASU BUMBUNOSHIN (東大 環境安全研セ) ,  SAKAMOTO TETSUO (東大 生産技研) ,  OWARI MASANORI (東大 生産技研) ,  NIHEI YOSHIMASA (東大 生産技研)
Material： 分析化学
Volume： 52  Issue： 3  Page： 179-185  Publication year： Mar. 05, 2003 
JST Material Number： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *secondary ion mass spectrometry ,...

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JST classification (2)： Mass spectrometers  (BD02060M) ,  Physical analysis of elements in inorganic substances  (CC03022H)

Reference (16)：

• 1) 上田 修, 本田耕一郎, 片岡祐治, 小高康稔: 富士通, 52 (4), 382 (2001).
• 2) T. Sakamoto, Zh. H. Cheng, M. Takahashi, Y. Kuramoto, M. Owari, Y. Nihei: Jpn. J. Appl. Phys., 37, Part 1, No.4A, 2051 (1998).
• 3) 長澤忠広: マイクロビームアナリシス第141委員会 第109回研究会資料, p. 63 (2002).
• 4) K. Takaya, He Li, M. Okabe, T. Yoshida, J. Murakami, M. Totsu, T. Hoshi: "Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS XII", p. 947 (2000).
• 5) M. Utlaut: "Handbook of Charged Particle Optics", p. 439 (1997).

Terms in the title (4)： ナノビーム ,  二次イオン質量分析 ,  試作 ,  評価