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J-GLOBAL ID：200902227620240067   Reference number：09A0537412

Estimation of oxidation states of AlO _x barriers in a tunneling junction by inelastic electron tunneling spectroscopy

非弾性電子トンネル分光法によるトンネル接合におけるAlO_x障壁酸化状態の評価

Author (3)： HORIKIRI K. (Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1, Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama, Kanagawa ...) ,  MORIZUMI M. (Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1, Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama, Kanagawa ...) ,  SHIIKI K. (Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1, Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama, Kanagawa ...)
Material： Thin Solid Films
Volume： 517  Issue： 18  Page： 5576-5579  Publication year： Jul. 31, 2009 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： tunneling spectroscopy ,  *tunnel junction ,  potential barrier ,  *Aluminum Oxide ,  *Cobalt ,  *sandwich structure ,  X-ray photoelectron spectrum ,  homogeneity ,  state ,  inelastic electron tunneling spectroscopy
Semi thesaurus term： oxidation state

JST classification (1)： Metal-insulator-semiconductor structures  (BM03085X)

Terms in the title (5)： 非弾性電子トンネル分光法 ,  トンネル接合 ,  障壁 ,  酸化状態 ,  評価