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J-GLOBAL ID：200902229039548193   Reference number：09A0217554

Development of a Linear-Motor-Driven Table with Hydrostatic Water Bearings (Basic Design of a Constant-Flow Hydrostatic Bearing)

リニアモータ駆動・水静圧案内テーブルの開発(定流量静圧軸受の基本設計)

Author (4)： OKUYAMA SHIGEKI (防衛大) ,  YUI AKINORI (防衛大) ,  KUMAGAI MASAYA (防衛大) ,  KITAJIMA TAKAYUKI (防衛大)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 75  Issue： 750  Page： 454-459  Publication year： Feb. 25, 2009 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： machine tool ,  working stand ,  *motor drive ,  *linear motor ,  hydrostatic bearing ,  water ,  bearing capacity ,  rigidity ,  attenuation constant
Semi thesaurus term： *案内テーブル

JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (5)：

• 1) ABE K. On the Super-Precision Double-Disk Surface Grinding of φ400-Silicon Wafer (1st report). JSPE 1999 Spring Conf.. (1999) p.671-672.
• 2) The Japan Society for Precision Engineering ed. Precision Machining Handbook. CORONA PUBLISHING. (1992) p.1257-1269.
• 3) AOYAMA T. Hydrostatic Bearing-Design and Application. Kogyo Chosakai Publishing. (1990) p.17-57.
• 4) SLOCUM A. H. Precision Machine Design. Society of Manufacturing Engineering. (1992) p.559-562.
• 5) 楠井 直樹. ほか. 水作動液静圧軸受を用いた直動ステージの研究. 精密工学会誌. 公益社団法人 精密工学会. (1999) vol.65, no.8, p.1153-1157. https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00062298742?from=CiNii, doi:10.2493/jjspe.65.1153

Terms in the title (7)： リニアモータ駆動 ,  水 ,  静圧 ,  開発 ,  定流 ,  静圧軸受 ,  基本設計