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J-GLOBAL ID：200902229323487269   Reference number：05A1047946

Analysis of the Basic Characteristic by Electrical Model of Aluminum Nitride Thin Film Pressure Sensor

AlN薄膜圧力センサーの電気モデルによる基本特性の解析

Author (5)： OISHI YASUNOBU (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  KISHI KAZUSHI (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  AKIYAMA MORITO (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  NOMA HIROAKI (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  TABARU TATSUO (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 113  Issue： 1324  Page： 816-818  Publication year： Dec. 01, 2005 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pressure sensor ,...
Semi thesaurus term： electric model

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JST classification (2)： Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G) ,  Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Reference (9)：

• 1) Nakatsuka, T., Kadoike, T., Hoshino, M., Ishii, H., Gotthard, E., Kawa, T. and Enomoto, Y., Proceeding of Academic Meeting of The Society of Automotive Engineers of Japan, No. 1-99, pp. 13-16 (1999) [in Japanese].
• 2) Ooishi, Y., Noma, H., Kishi, K., Ueno, N., Akiyama, M. and Kamohara, T., J. Ceram. Soc. Japan, Vol. 113, pp. 700-702 (2005) [in Japanese].
• 3) Ueno, N., Akiyama, M., Ikeda, K. and Tateyama, H., Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 38, pp. 427-432 (2002) [in Japanese].
• 4) Akiyama, M., Engineering Materials, Vol. 51, pp. 86-87 (2003).
• 5) Akiyama, M., Ueno, N., Nonaka, K., Tateyama, H. and Takahashi, S., Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, Hachioji (2003) pp. 131-131 [in Japanese].

Terms in the title (5)： AlN ,  薄膜 ,  圧力センサー ,  モデル ,  解析