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J-GLOBAL ID：200902230745961050   Reference number：09A0289762

炭素系材料合成のための熱的非平衡プラズマ特性のRF放電を用いた制御に関する研究

Author (2)： ISHIMARU KAZUHIRO (岐阜工高専) ,  KAMIMURA TOMOYUKI (岐阜工高専)
Material： 岐阜工業高等専門学校紀要  (Memoirs of Gifu National College of Technology)
Issue： 44  Page： 31-36  Publication year： Mar. 01, 2009 
JST Material Number： F0419A  ISSN： 0386-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *carbon material ,  *radiofrequency discharge ,  *plasma CVD ,  Helium ,  Hydrogen ,  glow discharge ,  decompression ,  carbon nanotube ,  alkane ,  discharge plasma ,  capacitively coupled plasma ,  *cold plasma
Semi thesaurus term： *nonequilibrium plasma ,  duty ratio

JST classification (1)： Crystal growth of other inorganic compounds  (BK13060T)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (5)： 炭素系材料 ,  非平衡 ,  プラズマ特性 ,  RF放電 ,  研究