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J-GLOBAL ID：200902232867247289   Reference number：05A0918137

Fluorinated Organic-Inorganic Hybrid Mold as a New Stamp for Nanoimprint and Soft Lithography

新しいナノインプリントおよびソフト・リソグラフィー用スタンプとしてのふっ素化有機-無機ハイブリッド鋳型

Author (6)： CHOI Dae-Geun (Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR) ,  JEONG Jun-ho (Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR) ,  SIM Young-suk (Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR) ,  LEE Eung-sug (Korea Inst. of Machinery & Materials, Daejeon, KOR) ,  KIM Woo-Soo (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon, KOR) ,  BAE Byeong-Soo (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon, KOR)
Material： Langmuir  (ACS Journal of Fundamental Interfaces Science)
Volume： 21  Issue： 21  Page： 9390-9392  Publication year： Oct. 11, 2005 
JST Material Number： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *lithography ,...
Semi thesaurus term： PDMS【重合体】

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JST classification (2)： Solid-liquid interface  (CB12050B) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (2)： Diphenylsilanediol ,  FAS-17

Terms in the title (7)： ナノインプリント ,  ソフト ,  リソグラフィー ,  スタンプ ,  ふっ素化 ,  有機-無機ハイブリッド ,  鋳型