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J-GLOBAL ID：200902232964391262   Reference number：04A0383944

Preparation of Solid Oxide Fuel Cell using RF Magnetron Sputtering-Dependency of single SOFC performance on temperature of annealing treatment-

高周波マグネトロンスパッタリング法による固体酸化物形燃料電池の作成-単セルのアニール処理温度依存性-

Author (3)： MIICHI TOMOAKI (大阪工大 工) ,  NISHIMOTO AKIFUMI (大阪工大 工) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 47  Issue： 3  Page： 128-131  Publication year： Mar. 20, 2004 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： high temperature fuel cell ,...
Semi thesaurus term： SOFC(cell)

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JST classification (2)： Fuel cells  (YB04040V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (3)：

• 掛山智哉. 真空. 2003, 46, 524-528
• NAGATA, A. Vacuum (PERGAMON). 2002, 66, 523-529
• 田川博章. 固体酸化物形燃料電池と地球環境. 1998

Terms in the title (5)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  固体酸化物形燃料電池 ,  単セル ,  アニール処理 ,  温度依存性