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J-GLOBAL ID：200902232981597028   Reference number：08A0510819

革新が進むFPD用フォトマスク 高岳製作所のFPD用フォトマスク欠陥検査装置 海外展開も視野に入れ,市場拡大を目指す 2鏡筒双方向スキャンにより検査時間を短縮

Author (1)： KONO OSAMU
Material： Semiconductor FPD World  (Semicond FPD World)
Volume： 27  Issue： 6  Page： 82-83  Publication year： May. 20, 2008 
JST Material Number： Y0509B  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： panel ,  *plasma display ,  television receiver ,  *liquid crystal display ,  photomask ,  *flaw inspection ,  sensitivity (ratio) ,  ability ,  halftone image ,  yield (ratio) ,  flat panel display ,  detectability ,  mask
Semi thesaurus term： FPD【ディスプレイ】 ,  LCD-TV ,  PDP ,  detectivity

JST classification (3)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electronic engineering in general  (NC01000A)

Terms in the title (12)： FPD ,  フォトマスク ,  フォトマスク欠陥 ,  検査装置 ,  海外展開 ,  視野 ,  市場 ,  拡大 ,  鏡筒 ,  双方向 ,  スキャン ,  検査時間