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J-GLOBAL ID：200902233858677277   Reference number：09A0995382

カーボンナノウォール成長における基板組成効果

Author (8)： MIKUNI HIROYUKI (名大 院) ,  TAKEUCHI WAKANA (名大 院) ,  YAMAKAWA KOJI (片桐エンジニアリング) ,  TAKEDA KEIGO (名大 院) ,  HIRAMATSU MINEO (名城大 理工) ,  KANO HIROYUKI (NUエコ・エンジニアリング) ,  SEKINE MAKOTO (名大 院) ,  HORI MASARU (名大 院)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 70th  Issue： 1  Page： 448  Publication year： Sep. 08, 2009 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanostructure ,  thin film growth ,  plasma ,  electronic excitation ,  *plasma CVD ,  Hydrogen ,  Titanium ,  silicon dioxide ,  *substrate (plate) ,  selective growth ,  alkane ,  *carbon nanowall
Semi thesaurus term： *electron beam excited plasma

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (3)： カーボンナノウォール ,  成長 ,  組成