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J-GLOBAL ID：200902234350809875   Reference number：05A1046251

マイクロ波プラズマCVDにおけるダイヤモンド成長面の巨視的モフォロジーの制御

Author (6)： YAMADA HIDEAKI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  CHAYAHARA AKIYOSHI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  MOKUNO YOSHIAKI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  SODA YOSUKE (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  HORINO YUJI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  SHIKATA SHIN'ICHI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ)
Material： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
Volume： 19th  Page： 52-53  Publication year： Nov. 24, 2005 
JST Material Number： L1241A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： microwave discharge ,...
Semi thesaurus term： power ,...

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JST classification (4)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Vapor plating  (WC08022K) ,  Applications of plasma  (BJ02110K) ,  Computer simulation  (JE11000H)

Terms in the title (4)： マイクロ波プラズマCVD ,  ダイヤモンド ,  成長 ,  モフォロジー