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J-GLOBAL ID：200902235640458487   Reference number：06A0636061

Molecular Glass Resists for High-Resolution Patterning

高分解能パターン形成用の分子ガラスレジスト

Author (6)： DAI Junyan (Cornell Univ., New York) ,  CHANG Seung Wook (Cornell Univ., New York) ,  HAMAD Alyssandrea (Cornell Univ., New York) ,  YANG Da (Cornell Univ., New York) ,  FELIX Nelson (Cornell Univ., New York) ,  OBER Christopher K. (Cornell Univ., New York)
Material： Chemistry of Materials  (Chem Mater)
Volume： 18  Issue： 15  Page： 3404-3411  Publication year： Jul. 25, 2006 
JST Material Number： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Glass ,...
Semi thesaurus term： crosslinking ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (2)： 4-[4-[1,1-Bis(4-hydroxyphenyl)ethyl]-α,α-dimethylbenzyl]phenol ,  3,3,3′,3′-Tetramethyl-1,1′-spirobiindane-5,5′,6,6′-tetrol

Terms in the title (4)： 高分解能 ,  パターン形成 ,  分子ガラス ,  レジスト