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J-GLOBAL ID：200902236116240128   Reference number：04A0229221

Wet etching study of silica glass after CW CO₂ laser treatment

CW CO₂レーザ処理後の石英ガラスのウェットエッチング

Author (3)： ZHAO J (Univ. California, CA, USA) ,  SULLIVAN J (Univ. California, CA, USA) ,  BENNETT T D (Univ. California, CA, USA)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 225  Issue： 1/4  Page： 250-255  Publication year： Mar. 30, 2004 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silica glass ,...

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JST classification (2)： Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： CW ,  CO2レーザ ,  石英ガラス ,  ウェットエッチング