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J-GLOBAL ID：200902238320008105   Reference number：04A0816713

Diagnostics and Simulations of Microplasmas

ミクロ反応場の生成と応用 3.マイクロプラズマの計測・解析

Author (3)： TACHIBANA KUNIHIDE (京大) ,  SAKURAI TAKEKI (山梨大 医学工学総合研究部) ,  KAWATA SHIGEO (宇都宮大 工)
Material： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
Volume： 80  Issue： 10  Page： 835-844  Publication year： Oct. 25, 2004 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

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JST classification (2)： Plasma diagnostics  (BJ02090L) ,  Plasma in general  (BJ02010B)

Reference (28)：

• [1] J.-C. Ahn and K. Tachibana, Appl. Phys. Lett. 82, 3844 (2003).
• [2] Y. Shintani, J.-C. Ahn, K. Tachibana, T. Sakai and N. Kosugi, J. Phys. D, 36, 2928 (2003).
• [3] K. Tachibana, T. Sakai and N. Kosugi, Appl. Phys. Lett. 65, 935 (1994).
• [4] K. Tachibana, K. Mizokami, N. Kosugi and T. Sakai, IEEE Trans. Plasma Sci. 31, 68 (2003).
• [5] Y. Shintani, S. Kawai, K. Tachibana, T. Sakai and N. Kosugi, Proc. IDW’03 (2003, Fukuoka) p.1057.

Terms in the title (5)： 反応場 ,  応用 ,  マイクロプラズマ ,  計測 ,  解析