Art

J-GLOBAL ID：200902238521297466   Reference number：08A0465990

FIB-SEM複合装置を用いた材料の3次元評価技術

Author (1)： MURATA KAORU (日本エフイー・アイ アプリケーションラボラトリー)
Material： 日本接着学会誌  (Journal of the Adhesion Society of Japan)
Volume： 44  Issue： 5  Page： 155-160  Publication year： May. 01, 2008 
JST Material Number： G0749A  ISSN： 0916-4812  CODEN： NSEGE7  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *focused ion beam ,  *scanning electron microscope ,  secondary electron emission ,  electron irradiation ,  probe (instrumentation element) ,  ion irradiation ,  ion microscopy ,  ion beam sputtering ,  visualization ,  three dimension ,  consecutive reaction ,  machined surface ,  high-resolution ,  image reconstruction ,  polycrystal ,  resolving power ,  cross section (face) ,  crack propagation ,  electron diffraction ,  large-angle grain boundary ,  low-angle grain boundary ,  grain boundary ,  data analysis ,  liquid nitrogen ,  Freeze Drying ,  foundation makeup ,  solder ,  *electron microscopy ,  instrumentation element
Semi thesaurus term： EBSD ,  *シリアルFIBセクショニング ,  void ,  solder ball

JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： FIB-SEM ,  複合装置 ,  3次元 ,  評価