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J-GLOBAL ID：200902240527669947   Reference number：09A0817811

Addition of Hetero-Atoms to the Polymer Film by Plasma Enhanced Polymerization and its Optical Properties

プラズマ支援重合法による高分子薄膜へのヘテロ原子の導入と薄膜の光学特性

Author (2)： MORIKI KAZUNORI (東京都市大学工学部) ,  YUMOTO MOTOSHIGE (東京都市大学工学部)
Material： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
Volume： 129  Issue： 8  Page： 555-561 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： S0808A  ISSN： 0385-4205  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma polymerization ,  *polymer thin film ,  atom ,  *optical property ,  *optical waveguide ,  chemical vapor deposition
Semi thesaurus term： プラズマ支援化学堆積法 ,  plasma polymerization ,  heteroatom

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Reference (11)：

• (1) K. Moriki, T. Satho, A. Itabashi, and M. Yumoto : “Fabrication of an optical polymer waveguide by plasma enhanced polymerization”, IEEJ Trans. FM, Vol. 128, No. 2, pp. 75-80 (2008-2) (in Japanese)
• 森木一紀・佐藤徹治・板橋 敦・湯本雅恵:「プラズマ支援重合法による高分子光導波路の形成」,電学論A, 128, 2, pp. 75-80 (2008-2)
• (2) D. W. Van Krevielen and P. J. Hoftyzer : “Properties of polymers”, Elservier publishing Company (1972)
• (3) A. Helmbold and D. Meissner : “Optical absorption of amorphous hydrogenated carbon thin films”, Thin Solid Films, Vol. 283, pp. 196-203 (1996)
• (4) K. Moriki, T. Satho, A. Itabashi, and M. Yumoto : “Effect of substrate temperature on the thin polymer film properties deposited by plasma CVD using cyclo-hexa-hydrocarbon”, IEEJ Trans. FM, Vol. 128, No. 4, pp. 268-274 (2008-4) (in Japanese)

Terms in the title (7)： プラズマ ,  支援 ,  重合法 ,  高分子薄膜 ,  ヘテロ原子 ,  薄膜 ,  光学特性