Art

J-GLOBAL ID：200902240651089657   Reference number：09A0530986

Precise Resistivity Measurement of Submicrometer-Sized Materials by Using TEM with Microprobes

マイクロプローブを有するTEMを用いたサブミクロンサイズの材料の精密な抵抗率測定

Author (5)： KAWAMOTO N. (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ.) ,  MURAKAMI Y. (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ.) ,  SHINDO D. (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ.) ,  AZEHARA H. (Nanotechnology Res. Center, Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ.) ,  TOKUMOTO H. (Nanotechnology Res. Center, Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ.)
Material： Materials Transactions  (Mater Trans)
Volume： 50  Issue： 6  Page： 1572-1575 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： G0668A  ISSN： 1345-9678  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electrical resistivity ,  transmission electron microscope ,  four-terminal circuit ,  *measurement ,  length ,  nano size

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of R,L,C,Q, and dielectric constant  (AD07030N)

Reference (17)：

• 1) F. Patolsky, B. P. Timko, G. F. Zheng and C. M. Lieber: MRS Bull. 32 (2007) 142–149.
• 2) J. J. Kim, D. Shindo, Y. Murakami, W. Xia, L. J. Chou and Y. L. Chueh: Nano Lett. 7 (2007) 2243–2247.
• 3) M. T. Chang, L. J. Chou, C. H. Hsieh, Y. L. Chueh, Z. L Wang, Y. Murakami and D. Shindo: Adv. Mater. 19 (2007) 2290–2294.
• 4) Z. L. Wang: MRS Bull. 32 (2007) 109–116.
• 5) A. F. Mayadas and M. Shatzkes: Phys. Rev. B 1 (1970) 1382–1389.

Terms in the title (4)： マイクロプローブ ,  TEM ,  サブミクロンサイズ ,  抵抗率