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J-GLOBAL ID：200902244217814730   Reference number：03A0694109

Increasing the range of unambiguity in step-height measurement with multiple-wavelength interferometry-application to absolute long gauge block measurement.

多波長干渉法を用いたステップ高さ測定における一意領域の増大 絶対長ゲージブロック測定への応用

Author (9)： DECKER J E (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  MILES J R (Commonwealth Scientific and Industrial Res. Organisation National Measurement Lab., Victoria, AUS) ,  MADEJ A A (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  SIEMSEN R F (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  SIEMSEN K J (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  DE BONTH S (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  BUSTRAAN K (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  TEMPLE S (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  PEKELSKY J R (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN)
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 42  Issue： 28  Page： 5670-5678  Publication year： Oct. 01, 2003 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical interferometry ,...
Semi thesaurus term： 多波長干渉法 ,...

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JST classification (1)： Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Terms in the title (5)： 多波長 ,  干渉法 ,  高さ測定 ,  ゲージ ,  応用