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J-GLOBAL ID：200902244561231417   Reference number：09A0929925

High-speed High-precision Control of Atomic Force Microscope by Surface Topography Learning Observer

表面トポグラフィー学習観測装置による原子間力顕微鏡の高速高精度な制御

Author (2)： SHIRAISHI Takayuki (Yokohama National Univ., JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., JPN)
Material： Proceedings of the American Control Conference  (American Control Conference)
Volume： 2009 Vol.2  Page： 961-966  Publication year： 2009 
JST Material Number： B0982A  ISSN： 0743-1619  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,  tracking ,  feedforward control ,  *topography ,  scanner ,  imaging ,  *surface topography
Semi thesaurus term： scanner ,  tracking

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： 表面トポグラフィー ,  学習 ,  観測装置 ,  原子間力顕微鏡