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J-GLOBAL ID：200902244630566841   Reference number：06A0095265

Numerical Analytic Prediction and Experimental Validation of Focused ArF Laser Pulse Absorption Process in Air

空気中に集光されたArFレーザパルス光の吸収過程についての数値解析予測と実験的検証

Author (4)： SAITO TAKESHI (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門) ,  ISHIGURO HIROKI (筑波大 大学院理工学研究科) ,  FURUTANI HIROHIDE (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門) ,  TAKAHASHI SAN'YO (産業技術総合研 エネルギー技術研究部門)
Material： 日本機械学会論文集 B編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series B)
Volume： 72  Issue： 713  Page： 170-178  Publication year： Jan. 25, 2006 
JST Material Number： F0036B  ISSN： 0387-5016  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *excimer laser ,...

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JST classification (1)： Gas lasers  (BD04040E)

Reference (17)：

• 齋藤剛. 機論, B. 2003, 69, 680, 1009-1016
• CANN, M. W. P. Can. J. Phys. 1984, 62, 1738-1751
• LEE, M. P. J. Quant. Spectrosc. Radiat Transf. 1986, 36, 5, 425-440
• 平井悦郎. 機論, B. 1996, 62, 595, 888-895
• OKABE, H. Photochemistry of Small Molecules. 1978, 177-184

Terms in the title (9)： 空気中 ,  集光 ,  ArFレーザ ,  パルス光 ,  過程 ,  数値解析 ,  予測 ,  実験 ,  検証