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J-GLOBAL ID：200902245115686482   Reference number：05A0719752

Development of Three Dimensional LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil

スパイラル微小コイルの製作に対する三次元LIGAプロセスの開発

Author (7)： MEKARU Harutaka (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  KUSUMI Shinji (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  SATO Noriaki (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  SHIMIZU Masami (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  YAMASHITA Michiru (Hyogo Prefectural Inst. Technol., Kobe, JPN) ,  SHIMADA Osamu (SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  HATTORI Tadashi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 44  Issue： 7B  Page： 5749-5754  Publication year： Jul. 30, 2005 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： LIGA

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (6)：

• 1) Catalog of chip coil (Murata Manufacturing Co., Ltd., Kyoto, 2004) p. 6.
• 2) E. W. Becker, W. Ehrfeld, P. Hagmann, A. Maner and D. Münchmeyer: Microelectron. Eng. 4 (1986) 35.
• 3) A. Ando, S. Amano, S. Hashimoto, H. Kinoshita, S. Miyamoto, T. Mochizuki, M. Niibe, Y. Shoji, M. Terasawa, T. Watanabe and N. Kumagai: J. Synchrotron Rad. 5 (1998) 342.
• 4) H. Mekaru, Y. Utsumi and T. Hattori: Nucl. Instrum. & Methods A <B>467-8</B> (2001) 741.
• 5) H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada and T. Hattori: Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 4036.

Terms in the title (5)： スパイラル ,  微小 ,  製作 ,  LIGAプロセス ,  開発