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J-GLOBAL ID：200902245524831257   Reference number：04A0593830

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による集積回路観察

Author (5)： YAMASHITA MASATSUGU (理研) ,  KIWA TOSHIHIKO (岡山大 工) ,  TONOUCHI MASAYOSHI (大阪大 超伝導フォトニクス研セ) ,  OTANI CHIKO (理研) ,  KAWASE KODO (理研)
Material： レーザ顕微鏡研究会講演会抄録集  (Programme and Abstract Book. Meeting of the Society for Laser Microscopy, Japan)
Volume： 30th  Page： 6-10  Publication year： Jul. 02, 2004 
JST Material Number： L1002A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical microscope ,...

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JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (3)： 顕微鏡 ,  集積回路 ,  観察