Art

J-GLOBAL ID：200902247146131511   Reference number：07A0638045

Largely-tunable wideband Bragg gratings fabricated on SOI rib waveguides employed by deep-RIE

ディープRIEを使用してSOIリブ導波路上に製作した大可変広帯域Bragg格子

Author (8)： HONDA S. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  WU Z. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  MATSUI J. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  UTAKA K. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  EDURA T. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  TOKUDA M. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  TSUTSUI K. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  WADA Y. (Waseda Univ., Tokyo, JPN)
Material： Electronics Letters  (Electron Lett)
Volume： 43  Issue： 11  Page： 630-631  Publication year： May. 24, 2007 
JST Material Number： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： RIE ,...
Semi thesaurus term： rib waveguide

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JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Terms in the title (7)： RIE ,  SOI ,  リブ導波路 ,  製作 ,  可変 ,  広帯域 ,  Bragg格子