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J-GLOBAL ID：200902247654973110   Reference number：03A0708617

Thermoelectric properties of Zn₄Sb₃ thin films prepared by magnetron sputtering

マグネトロンスパッタリングにより作製したZn₄Sb₃薄膜の熱電特性

Author (4)： ZHANG L T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TSUTSUI M (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ITO K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMAGUCHI M (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 443  Issue： 1/2  Page： 84-90  Publication year： Oct. 22, 2003 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *zinc compound ,...

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JST classification (2)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (4)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  薄膜 ,  熱電特性