Art

J-GLOBAL ID：200902248748169001   Reference number：05A0155177

Depth profiling of polycrystalline layers under a surface using x-ray diffraction at small glancing angle of incidence

入射の小さな視射角でのX線回折を用いた表面下の多結晶層の深さプロフィリング

Author (3)： FUJII Y (Kobe Univ., Kobe, JPN) ,  KOMAI T (Kobe Univ., Kobe, JPN) ,  IKEDA K (Kobe Steel Ltd., Kobe, JPN)
Material： Surface and Interface Analysis  (SIA)
Volume： 37  Issue： 2  Page： 190-193  Publication year： Feb. 2005 
JST Material Number： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *X-ray diffractometry ,...

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JST classification (3)： X-ray diffraction methods  (BK01020I) ,  Surface chemistry in general  (CB12010J) ,  Other physical chemistry in general  (CB01030T)

Terms in the title (3)： X線回折 ,  多結晶 ,  深さプロフィリング