Art

J-GLOBAL ID：200902249641662275   Reference number：04A0370357

Low-Loss SOI Photonic Wires and Ring Resonators Fabricated With Deep UV Lithography

深UVリソグラフィーにより作製した低損失SOIフォトニックワイヤとリング共振器

Author (9)： DUMON P (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL) ,  BOGAERTS W (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL) ,  WIAUX V (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  WOUTERS J (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  BECKX S (IMEC vzw, Leuven, BEL) ,  VAN CAMPENHOUT J (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL) ,  TAILLAERT D (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL) ,  LUYSSAERT B (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL) ,  BIENSTMAN P (Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
Material： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Transactions Photonics Technology Letters)
Volume： 16  Issue： 5  Page： 1328-1330  Publication year： May. 2004 
JST Material Number： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ring resonator ,...

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JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Other optical transmission devices  (BD06040S)

Terms in the title (6)： 深UV ,  リソグラフィー ,  作製 ,  低損失 ,  SOI ,  リング共振器