Formation of ULSI Cu Minute Wiring Through Microcontact Printing Using Silicone

NAKAJIMA Katsuyuki; AKAMATSU Kensuke; NAWAFUNE Hidemi

Art

J-GLOBAL ID：200902250649356090 Reference number：09A0523277

Formation of ULSI Cu Minute Wiring Through Microcontact Printing Using Silicone

シリコーン使用マイクロコンタクト印刷によるULSI銅微小ワイヤリング

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Author (3)： , ,
Material：
Volume： 2009 Page： 927-930 Publication year： 2009
JST Material Number： L6010A Document type： Proceedings
Article type：原著論文 Country of issue： Japan (JPN) Language： ENGLISH (EN)

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Printed circuits , General

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