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J-GLOBAL ID：200902251041856879   Reference number：08A0367435

水晶振動子センサー計測によるプラズマ気相成分の空間分布測定

Author (2)： SUZUKI ATSUSHI (産業技術総合研 計測フロンティア研究部門) ,  NONAKA HIDEHIKO (産業技術総合研 計測フロンティア研究部門)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 51  Issue： 3  Page： 155-157  Publication year： Mar. 20, 2008 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silane ,  *plasma ,  Hydrogen ,  *crystal resonator ,  plasma production ,  spatial distribution ,  composition (constitution) ,  ratio ,  decomposition
Semi thesaurus term： 分解率

JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (5)：

• 1) A. Suzuki, A. Kurokawa and H. Nonaka: Shinku, 50 (2007) 184.
• 2) K. Kokubun, M. Hirata, H. Murakami, Y. Toda and M. Ono: Vacuum, 34 (1984) 731.
• 3) A. Suzuki, A. Kurokawa and H. Nonaka: Extended Abstracts (The 54th Spring Meeting, 2007); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, 1 (2007) 178.
• 4) H. F. Dylla, S. A. Cohen, S. M. Rossnagel, G. M. McCracken and P. Staib: J. Vac. Sci. Technol., 17 (1980) 286.
• 5) B. L. Preppernau, D. A. Dolson, R. A. Gottscho and T. A. Miller: Pla. Chemi. Pla. Proc., 9 (1989) 157.

Terms in the title (6)： 水晶振動子 ,  センサー ,  計測 ,  プラズマ ,  気相 ,  空間分布