Art

J-GLOBAL ID：200902262704324118   Reference number：07A0355280

Gas Analysis for Plasmas using a Quartz Sensor

水晶振動子計測によるプラズマ気相成分分析

Author (3)： SUZUKI ATSUSHI (産業技術総合研 計測フロンティア研究部門) ,  KUROKAWA AKIRA (産業技術総合研 計測フロンティア研究部門) ,  NONAKA HIDEHIKO (産業技術総合研 計測フロンティア研究部門)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 50  Issue： 3  Page： 184-186  Publication year： Mar. 20, 2007 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *crystal resonator ,...
Semi thesaurus term： *quartz sensor

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0355280&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0194A") }}

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (6)：

• KUROKAWA, A. Vacuum. 2004, 73, 301
• SUZUKI, A. Sens. Actuators, A. 2006, A127, 37
• 鈴木淳. 第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 159
• KOKUBUN, K. Vacuum. 1984, 34, 731
• PREPPERNAU, B. L. Plasma Chem. and Plasma Proc. 1989, 9, 157

Terms in the title (5)： 水晶振動子 ,  計測 ,  プラズマ ,  気相 ,  成分分析