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J-GLOBAL ID：200902256321088038   Reference number：06A0722370

Influence of phonon, geometry, impurity, and grain size on Copper line resistivity

銅線電気抵抗率におよぼすフォノン,幾何構造,不純物と粒子サイズの影響

Author (4)： PLOMBON J. J. (Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497) ,  ANDIDEH Ebrahim (Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497) ,  DUBIN Valery M. (Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497) ,  MAIZ Jose (Intel Corp., 5200 N. E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124-6497)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 89  Issue： 11  Page： 113124-113124-3  Publication year： Sep. 11, 2006 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electrical resistivity ,...
Semi thesaurus term： grain boundary

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JST classification (1)： Electronic conduction in crystalline metals  (BM03033M)

Terms in the title (6)： 銅線 ,  電気抵抗率 ,  フォノン ,  幾何構造 ,  不純物 ,  粒子サイズ