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J-GLOBAL ID：200902260452938824   Reference number：05A0378235

ULSI Metallization using Supercritical Carbon Dioxide-Development of Continuous Flow Reaction System-

超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 連続・フロー式成膜実験装置の開発

Author (2)： FUKUDA JUMPEI (山梨大 大学院) ,  KONDO EIICHI (山梨大 大学院)
Material： 日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
Volume： 11th  Page： 277-278  Publication year： Mar. 17, 2005 
JST Material Number： L3954A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *supercritical fluid ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (6)： 超臨界二酸化炭素 ,  微細配線 ,  フロー ,  成膜 ,  実験装置 ,  開発