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J-GLOBAL ID：200902260920036302   Reference number：06A0164060

Indentation method to measure the residual stress induced by ion implantation

イオン注入により生じた残留応力を測定する押込み法

Author (5)： WANG Q. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  OZAKI K. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  ISHIKAWA H. (Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN) ,  NAKANO S. (AIST, Tsukuba, JPN) ,  OGISO H. (AIST, Tsukuba, JPN)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 242  Issue： 1-2  Page： 88-92  Publication year： Jan. 2006 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： イオン注入 ,  残留応力 ,  押込み