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J-GLOBAL ID：200902261658741209   Reference number：08A0569157

Microstructure and optical band gap control of DLC film deposited by pulsed discharge plasma CVD

パルス放電プラズマCVD法で蒸着したDLC膜の微細構造と光学バンドギャップ制御

Author (4)： NODA M. (Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  SHINAGAWA T. (Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN) ,  KAWAI S. (DENSO Res. Laboratories, Komenogi, Nissin, Aichi 470 0111, JPN) ,  UMENO M. (Dep. of Electronics and Information Engineering, Chubu Univ., Kasugai, Aichi 487 8501, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 17  Issue： 4-5  Page： 646-649  Publication year： Apr. 2008 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,  film production ,  *plasma CVD ,  pulsed discharge ,  process parameter ,  concentration dependence ,  chemical bond ,  band gap ,  alkane

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (6)： パルス放電 ,  プラズマCVD法 ,  蒸着 ,  DLC膜 ,  微細構造 ,  光学バンドギャップ