Art
J-GLOBAL ID：200902261905946307   Reference number：06A0739160

Properties of Ga-Doped ZnO Deposited by a Dc-Arc Ion Plating Method

アーク放電蒸着イオンプレーテイング法によるGaドープ酸化亜鉛薄膜
Author (4)：
YAMAMOTO Tetsuya

About YAMAMOTO Tetsuya

(Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN)

About Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN

, 
SAKEMI Toshiyuki

About SAKEMI Toshiyuki

(Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Ehime, JPN)

About Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Ehime, JPN

, 
AWAI Kiyoshi

About AWAI Kiyoshi

(Sumiju Technical Center Co., Ltd., Ehime, JPN)

About Sumiju Technical Center Co., Ltd., Ehime, JPN

, 
SHIRAKATA Sho

About SHIRAKATA Sho

(Ehime Univ., Ehime, JPN)

About Ehime Univ., Ehime, JPN


Material：
プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス  (プラズマプロセシング研究会プロシーディングス)

About プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス


Volume： 2004/21st  Page： 174-175  Publication year： Jan. 28, 2004 
JST Material Number： L4449A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)
Thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
arc discharge

About arc discharge

,...
Semi thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
伝導物質カンイ

About 伝導物質カンイ

,...
   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0739160&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L4449A") }}
JST classification (1)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Oxide thin films 
(BK14050P)

About Oxide thin films

Terms in the title (5)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
アーク放電

About アーク放電

, 
蒸着

About 蒸着

, 
Ga

About Ga

, 
ドープ

About ドープ

, 
酸化亜鉛薄膜

About 酸化亜鉛薄膜


Return to Previous Page

TOP

BOTTOM