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J-GLOBAL ID：200902262172534038   Reference number：06A0427455

イオンビームスパッタによるポリカーボネート上への透光性保護膜の形成

Author (5)： CHOI Junho (産業技術総合研) ,  KATO TAKAHISA (東大) ,  NAKAO SETSUO (産業技術総合研) ,  KIN SHOTOKU (産業技術総合研) ,  IKEYAMA MASAMI (産業技術総合研)
Material： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
Volume： 2006-5  Page： 319-320  Publication year： Apr. 20, 2006 
JST Material Number： Y0047B  ISSN： 0919-6005  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ion beam ,...

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JST classification (2)： Surface treatment  (YH04112X) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (4)： イオンビームスパッタ ,  ポリカーボネート ,  透光性 ,  保護膜