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J-GLOBAL ID：200902263150815102   Reference number：07A1233077

Enhancement of extreme ultraviolet emission from a CO2 laser-produced Sn plasma using a cavity target

空洞ターゲットを用いた炭酸ガスレーザ生成Snプラズマからの極端紫外線放出増強

Author (5)： UENO Yoshifumi (EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN) ,  SOUMAGNE Georg (EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN) ,  SUMITANI Akira (EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN) ,  ENDO Akira (EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Association), 1200 Manda, Hiratsuka, Kanagawa 254-8567, JPN) ,  HIGASHIGUCHI Takeshi (Dep. of Energy and Environmental Sci., Graduate School of Engineering, and Center for Optical Res. and Education ...)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 91  Issue： 23  Page： 231501-231501-3  Publication year： Dec. 03, 2007 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon dioxide laser ,...

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JST classification (1)： Electromagnetic waves in plasma  (BJ02032F)

Terms in the title (8)： 空洞 ,  ターゲット ,  炭酸ガスレーザ ,  Sn ,  プラズマ ,  極端紫外線 ,  放出 ,  増強