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J-GLOBAL ID：200902265682117120   Reference number：06A0865362

Automatic Calibration of Physical Models Utilizing Genetic Algorithms and Gradient Methods

遺伝的アルゴリズムと勾配法の組合せによる物理モデルの自動合わせ込み

Author (4)： MURAKAWA MASAHIRO (産業技術総合研) ,  ODA YOSHINORI (半導体先端テクノロジーズ) ,  HIGUCHI TETSUYA (産業技術総合研) ,  NISHI KENJI (半導体先端テクノロジーズ)
Material： 情報処理学会論文誌  (IPSJ Journal)
Volume： 47  Issue： SIG14(TOM15)  Page： 161-170  Publication year： Oct. 15, 2006 
JST Material Number： Z0778A  ISSN： 0387-5806  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *genetic algorithm ,...
Semi thesaurus term： TCAD ,...

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JST classification (3)： Artificial intelligence  (JE08000Z) ,  Numerical computation  (JE02000J) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• ITRS: ITRS roadmap 2001, p. 432(2001).
• Park, C., Klein, K. M. and Tasch, A. F.: Efficient Modeling Parameter Extraction for Dual Pearson Approach to Simulation of Implanted Impurity Profiles in Silicon, Solid-State Electronics, Vol.33, No.6, pp. 645-650(1990).
• Press, W. H., Teukolsky, S. A., Vetterling, W. T. and Flannery, B. P.: Numerical Recipes in C, p. 542, Cambridge University Press (1988).
• Goldberg, D. E.: Genetic Algorithms in Search, Optimization, and Machine Learning, Addison Wesley (1989).
• Holland, J. H.: Adaptation in Natural and Artificial Systems, The University of Michigan Press (1975).

Terms in the title (4)： 遺伝的アルゴリズム ,  勾配法 ,  組合せ ,  物理モデル