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J-GLOBAL ID：200902266071925210   Reference number：04A0843217

Effects of radio-frequency driving power, gas pressure, and nitrogen seeding on the transition dynamics in argon inductively coupled plasmas

アルゴン誘導結合プラズマにおける遷移動力学に対する高周波駆動パワー,気体圧力および窒素シーディングの効果

Author (3)： RAZZAK M A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAMURA S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  UESUGI Y (Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 96  Issue： 9  Page： 4771-4776  Publication year： Nov. 01, 2004 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Argon ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Terms in the title (9)： アルゴン ,  誘導結合プラズマ ,  遷移 ,  動力学 ,  高周波駆動 ,  パワー ,  気体圧力 ,  窒素 ,  シーディング