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J-GLOBAL ID：200902267657571332   Reference number：05A0713936

Growth of crystalline quartz films with AT-cut plane by means of catalyst-enhanced vapor-phase epitaxy under atmospheric pressure

大気圧下での触媒増強気相エピタクシーによるATカット面結晶石英膜の成長

Author (6)： TAKAHASHI Naoyuki (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsus, Shizuoka 432-8561 ...) ,  NAKUMURA Takato (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Hamamatsus, Shizuoka 432-8561 ...) ,  NONAKA Satoshi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  KUBO Yoshinori (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  SINRIKI Yoichi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN) ,  TAMANUKI Katsumi (Humo Lab. Co., 5-9-11 Nishiogi-Kita, Suginami-ku, Tokyo 167-0042, JPN)
Material： Journal of Physics and Chemistry of Solids  (J Phys Chem Solids)
Volume： 66  Issue： 7  Page： 1145-1149  Publication year： Jul. 2005 
JST Material Number： C0202A  ISSN： 0022-3697  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： catalytic activity ,...
Semi thesaurus term： VPE growth

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Terms in the title (8)： 大気圧 ,  触媒 ,  増強 ,  気相エピタクシー ,  ATカット ,  結晶 ,  石英 ,  成長