Art

J-GLOBAL ID：200902267786924586   Reference number：06A0380767

High-κ Dielectric Nanofilms Fabricated from Titania Nanosheets

チタニアナノシートから製作した高κ誘電ナノ膜

Author (8)： OSADA Minoru (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  EBINA Yasuo (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  FUNAKUBO Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YOKOYAMA Shintaro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KIGUCHI Takanori (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  TAKADA Kazunori (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  SASAKI Takayoshi (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  SASAKI Takayoshi (JST-CREST, Saitama, JPN)
Material： Advanced Materials  (Adv Mater (Deerfield, Fla.))
Volume： 18  Issue： 8  Page： 1023-1027  Publication year： Apr. 18, 2006 
JST Material Number： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *titanium oxide ,...
Semi thesaurus term： LbL

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Insulating materials  (NA04030W)

Terms in the title (3)： 製作 ,  高 ,  ナノ膜