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J-GLOBAL ID：200902269471181235   Reference number：06A0455155

Fabrication of Hierarchically Ordered Hybrid Structures over Multiple Length Scales via Direct Etching of Self-Organized Polyhedral Oligomeric Silsesquioxane (POSS) Functionalized Block Copolymer Films

自己組織化した多面体オリゴマ状シルセスキオキサン(POSS)官能化ブロック共重合体膜の直接エッチングによる多重長さスケールで階層的に秩序化したハイブリッド構造の作製

Author (9)： HAYAKAWA Teruaki (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  SEINO Makoto (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  GOSEKI Raita (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  HIRAI Tomoyasu (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  KIKUCHI Ryohei (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  KAKIMOTO Masa-aki (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  TOKITA Masatoshi (Dep. of Organic and Polymeric Materials, Tokyo Inst. of Technol.) ,  YOKOYAMA Hideaki (Nanotechnology Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol.) ,  HORIUCHI Shin (Nanotechnology Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol.)
Material： Polymer Journal  (Polym J)
Volume： 38  Issue： 6  Page： 567-576 (J-STAGE)  Publication year： 2006 
JST Material Number： F0612A  ISSN： 0032-3896  CODEN： POLJB8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *block copolymer ,...

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JST classification (2)： Other reactions of polymer  (CG03040H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (29)：

• WEISSMAN, J. M. Science. 1996, 274, 959
• KAMENETZKY, E. A. Science. 1994, 263, 207
• SUN, S. H. Science. 2000, 287, 1989
• SIWICK, B. J. J. Appl. Phys. 2001, 90, 5328
• PHAM, H. H. Adv. Mater. 2004, 16, 516

Terms in the title (13)： 自己組織化 ,  多面体 ,  オリゴマ ,  シルセスキオキサン ,  POSS ,  官能化 ,  共重合体膜 ,  エッチング ,  多重 ,  長さスケール ,  秩序化 ,  ハイブリッド構造 ,  作製