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J-GLOBAL ID：200902270049914538   Reference number：03A0542472

Effect of the substrate bias potential on crystalline grain size, intrinsic stress and hardness of vacuum arc evaporated TiN/c-Si coatings

真空アーク蒸着したTiN/c-Si被覆層の結晶粒径,内部応力,硬さに対する基板バイアス電位の影響

Author (4)： ESPINOZA-BELTRAN F J (CINVESTAV-IPN, Qro., MEX) ,  CHE-SOBERANIS O (CINVESTAV-IPN, Qro., MEX) ,  GARCIA-GONZALEZ L (CINVESTAV-IPN, Qro., MEX) ,  MORALES-HERNANDEZ J (Univ. Autonoma de Queretaro, Qro., MEX)
Material： Thin Solid Films
Volume： 437  Issue： 1/2  Page： 170-175  Publication year： Aug. 01, 2003 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *crystal grain size ,...
Semi thesaurus term： titanium nitride ,...

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JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Ceramic coating to nonmetallic materials  (YC02040K)

Terms in the title (9)： 真空アーク蒸着 ,  TiN ,  Si ,  被覆層 ,  結晶粒径 ,  内部応力 ,  硬さ ,  基板バイアス ,  電位