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J-GLOBAL ID：200902270901455073   Reference number：05A0586479

Environmentally Friendly Positive- and Negative-tone Photo-patterning Systems of Low-K and Low-CTE Polyimides

低い-Kと低い-CTEポリイミドの環境に優しいポジティブ-とネガティブトーン光パターニング系

Author (2)： HASEGAWA Masatoshi (Toho Univ., Chiba, JPN) ,  TOMINAGA Azumi (Toho Univ., Chiba, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 18  Issue： 2  Page： 307-312  Publication year： 2005 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thermal expansion coefficient ,...
Semi thesaurus term： crosslinking

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JST classification (2)： Copolymerization  (CG04030D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (3)： Cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride ,  TFDB ,  NT-200

Reference (13)：

• 1. The Latest Polyimides: Fundamentals and Applications, Y. Imai and R. Yokota, Eds., NTS, Tokyo, 2002. (in Japanese)
• 2. S. Numata, S. Oohara, K. Fujisaki, K. Imaizumi and N. Kinjyo, J. Appl. Polym. Sci. 31 (1986) 101.
• 3. S. Numata, K. Fujisaki and N. Kinjyo, Polymer 28 (1987) 2282.
• 4. M. Hasegawa, T. Matano, Y. Shindo and T. Sugimura, Macromolecules 29 (1996) 7897.
• 5. J. C. Coburn and M. T. Pottiger, Polyimides: Fundamentals and Applications, M. K. Ghosh and K. L. Mittal, Eds., Marcel Dekker, New York, 1996, p 207

Terms in the title (3)： ポリイミド ,  環境 ,  パターニング