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J-GLOBAL ID：200902272223921630   Reference number：09A0730396

Improvement of Compensation for Accelerometer and High Bandwidth for Isolation Device

除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化

Author (2)： TAKAHASHI MASATO (ニコン) ,  WAKUI SHINJI (東京農工大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 75  Issue： 7  Page： 853-858  Publication year： Jul. 05, 2009 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： exposure (photography) ,  vibration isolation ,  semiconductor process ,  *vibration isolator ,  *speed sensor ,  linear motor ,  *gravity reduction ,  active control ,  attenuation characteristic ,  oscillation mode ,  robustness ,  frequency response ,  *response characteristic ,  performance evaluation ,  *exposure equipment ,  *acceleration sensor
Semi thesaurus term： VCM

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Propagation of vibrations  (BB02040K)

Reference (6)：

• 1) 山本修一:アクティブ除振技術における加速度計の役割と特性,精密工学会誌, 73, 4 (2007) 422.
• 2) 涌井伸二:精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割,精密工学会誌, 73, 4 (2007) 405.
• 3) 飯田一嘉,大橋心耳,岡田健,麦倉喬次:現場実務者と設計者のための実用騒音・振動制御ハンドブック,エヌ・ティー・エス (2000) 840.
• 4) S.Wakui: Incline Compensation Control using an Air-spring Type Active Isolated Apparatus, Precision Engineering, 27, 2 (2003) 170.
• 5) 株式会社ニコン(高橋正人):除振装置,除振方法及び露光装置,特許3807516(2006).

Terms in the title (3)： 除振装置 ,  加速度センサ ,  高帯域