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J-GLOBAL ID：200902272322304317   Reference number：06A0877440

Multidirectional UV Lithography for Complex 3-D MEMS Structures

複雑な3D MEMS構造用の多方向UVリソグラフィー

Author (3)： YOON Yong-Kyu (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  PARK Jung-Hwan (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  ALLEN Mark G. (Georgia Inst. Technol., GA, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 15  Issue： 5  Page： 1121-1130  Publication year： Oct. 2006 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *space structure ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 3D ,  MEMS ,  多方向 ,  リソグラフィー