Art

J-GLOBAL ID：200902273258358617   Reference number：03A0403980

Fine Patterning of Hybrid Titania Films by Ultraviolet Irradiation

紫外線照射によるハイブリッドチタニア膜の微細パターニング

Author (4)： SEGAWA H (Oita Univ., Dannoharu, JPN) ,  ADACHI S (Oita Univ., Dannoharu, JPN) ,  ARAI Y (Oita Univ., Dannoharu, JPN) ,  YOSHIDA K (Oita Univ., Dannoharu, JPN)
Material： Journal of the American Ceramic Society  (J Am Ceram Soc)
Volume： 86  Issue： 5  Page： 761-764  Publication year： May. 2003 
JST Material Number： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *titanium oxide ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0403980&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0253A") }}

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Methacrylic acid

Terms in the title (3)： 紫外線照射 ,  微細 ,  パターニング