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J-GLOBAL ID：200902275475517564   Reference number：05A1019127

Creation of Ultraprecision V-shaped Microgrooves Using Non-Rotational Cutting Tools

非回転工具を用いた超精密マイクロV溝加工

Author (5)： KUMON TETSUYA (電通大 大学院) ,  ISHIDA TOORU (大阪大 大学院) ,  TAKEUCHI YOSHIMI (大阪大 大学院) ,  KAWAI TOMOHIKO (ファナック) ,  SAWADA KIYOSHI (ファナック)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 70  Issue： 10  Page： 1301-1305  Publication year： Oct. 05, 2004 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *fine patterning ,...
Semi thesaurus term： 非回転工具

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JST classification (2)： Cutting in general  (QC02010V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (6)：

• 1) 辻内順平:ホログラフィ実用技術とその展望,精密工学会誌, 56, 10 (1990) 1771.
• 2) 鈴木浩文,樋口俊郎,和嶋 直,北嶋孝之,奥山繁樹,山崎 洋:マイクロフレネルレンズ成形型の超精密研削,65,8 (1999) 1163.
• 3) 森田晋也,山形 豊,守安 精,大森 整,樋口俊郎:超精密・超微細切削によるホログラム光学素子のマイクロファブリケーション,理研シンポジウムテキスト,2 (1998) 64.
• 4) 前田真児,竹内芳美,沢田 潔,河合知彦,佐田登志夫:非回転工具による多焦点マイクロフレネルレンズ加工,67, 9 (2001) 1463.
• 5) 前田真児,竹内芳美,沢田 潔,河合知彦,佐田登志夫:非回転工具を用いた超精密マイクロ溝の創成,精密工学会誌,66,9 (2000) 1456.

Terms in the title (4)： 回転工具 ,  超精密 ,  マイクロ ,  V溝加工