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J-GLOBAL ID：200902276182132265   Reference number：08A0697136

Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold

CVDダイヤモンドモールドを用いた高温下におけるガラスのマイクロ/ナノインプリント

Author (7)： KOMORI M (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  UCHIYAMA H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKEBE H (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  KUSUURA T (TechnoProducer Corp., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KUWAHARA H (Res. Inst. for Applied Sci. (RIAS), Kyoto, JPN) ,  TSUCHIYA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Journal of Micromechanics and Microengineering  (J Micromech Microeng)
Volume： 18  Issue： 6  Page： 065013,1-9  Publication year： Jun. 2008 
JST Material Number： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Diamond ,  chemical vapor deposition ,  mold (casting) ,  *Glass ,  *compression forming ,  glass forming ,  adhesion test ,  property ,  ore ,  precious stone
Semi thesaurus term： CVD ,  *nanoimprint ,  mold release property

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O)

Terms in the title (5)： CVDダイヤモンド ,  モールド ,  ガラス ,  マイクロ ,  ナノインプリント