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J-GLOBAL ID：200902276365275260   Reference number：04A0445118

多角バレルスパッタリング装置を用いた粉体微粒子の新規修飾法

Author (3)： ABE TAKAYUKI (富山大 水素同位体科研セ) ,  AKAMARU SATOSHI (富山大 水素同位体科研セ) ,  WATANABE KUNIAKI (富山大 水素同位体科研セ)
Material： 粉体工学会研究発表会講演論文集  (粉体工学会秋期研究発表会発表論文集)
Volume： 2003  Issue： 春期  Page： 47-48  Publication year： May. 28, 2003 
JST Material Number： L1414A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *sputtering ,...
Semi thesaurus term： 多角バレルスパッタリング

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JST classification (2)： Production and handling of solid in general  (XD03021O) ,  Sputtering  (BK16110U)

Terms in the title (5)： バレル ,  スパッタリング装置 ,  粉体 ,  微粒子 ,  修飾