レーザを用いた加工技術  フェムト秒レーザによる超硬の微細加工の試み

ITO YOSHIRO; TANABE RIE

Art

J-GLOBAL ID：200902276980477891 Reference number：08A1181076

レーザを用いた加工技術フェムト秒レーザによる超硬の微細加工の試み

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Volume： 19 Issue： 12 Page： 9-13 Publication year： Dec. 01, 2008
JST Material Number： L1746A ISSN： 0917-026X CODEN： HARAEW Document type： Article
Article type：解説 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Special machining

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レーザを用いた加工技術 フェムト秒レーザによる超硬の微細加工の試み

レーザを用いた加工技術フェムト秒レーザによる超硬の微細加工の試み